반도체 장비업체에서 일하고 있는 사람입니다.

전기, 전자 전공으로 최근에 Plasma에 관심이 생겨서 공부하고 있습니다.


DC Plasma에서 전자방출 메커니즘이 여러가지가 있는 것으로 알고 있습니다.


타운센트 방전 이론에 의한 알파, 감마 작용는 이해가 가는데,

1. 플라즈마 내부 광자에 의한 음극에서의 이차 전지 방출(Photoemission)

2. 준안정(metastable) 종이 음극을 때릴 때 이차 전자 방출

위의 두가지가 무엇을 의미하는지 잘 모르겠습니다.


알고계시는 선배님들 알려주시면 감사하겠습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102609
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24654
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61350
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73432
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105735
22 Lxcat dataset에 따른 Plasma discharge에 대한 질문입니다. [CX 데이터] [1] 347
21 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [대기압 환경 플라즈마와 라디컬 분포] [1] 467
20 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [방전 기전] [1] 833
19 Hollow Cahthode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [장치 setting과 전극재료] [1] file 1053
» DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1193
17 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [I-V characteristic 방전 커브] [2] 1240
16 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [고전압 방전 및 DBD] [2] 2064
15 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [Breakdown voltage 및 이온화 에너지] [1] 2282
14 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [이차 전자의 방출 특성] [1] 2411
13 플라즈마 관련 기초지식 [DC glow discharge] [1] 2555
12 플라즈마 압력에 대하여 [Glow discharge와 light] [1] 2959
11 코로나 방전의 속도에 관하여 [코로나 방전의 이해] [1] 3741
10 방전에서의 재질 질문입니다. [방전과 전압] [1] 3789
9 안녕하세요 교수님. [2차 전자 방출 메커니즘] [1] 9544
8 플라즈마 살균 방식 [Plasma medicine] [2] 11909
7 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [플라즈마 형성 과정과 파센의 법칙] [1] 13769
6 corona [Streamer와 Impurity] 16064
5 플라즈마에서 전자가 에너지를 어느 부분에서.. 17902
4 Breakdown에 대해 21665
3 DC glow discharge 23417

Boards


XE Login