DC glow discharge DC Plasma 전자 방출 메커니즘
2018.04.19 11:22
반도체 장비업체에서 일하고 있는 사람입니다.
전기, 전자 전공으로 최근에 Plasma에 관심이 생겨서 공부하고 있습니다.
DC Plasma에서 전자방출 메커니즘이 여러가지가 있는 것으로 알고 있습니다.
타운센트 방전 이론에 의한 알파, 감마 작용는 이해가 가는데,
1. 플라즈마 내부 광자에 의한 음극에서의 이차 전지 방출(Photoemission)
2. 준안정(metastable) 종이 음극을 때릴 때 이차 전자 방출
위의 두가지가 무엇을 의미하는지 잘 모르겠습니다.
알고계시는 선배님들 알려주시면 감사하겠습니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] | 2566 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 13679 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 49691 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 61640 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] | 80271 |
| 19 |
Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다.
[1]  | 385 |
| 18 | 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] | 688 |
| 17 | glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] | 706 |
| » | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 750 |
| 15 | 플라즈마 관련 기초지식 [1] | 1272 |
| 14 | 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] | 1459 |
| 13 | 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] | 1907 |
| 12 | 플라즈마 압력에 대하여 [1] | 2376 |
| 11 | 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] | 2720 |
| 10 | 방전에서의 재질 질문입니다. [1] | 3295 |
| 9 | 안녕하세요 교수님. [1] | 8510 |
| 8 | 플라즈마 살균 방식 [2] | 10558 |
| 7 | 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] | 12512 |
| 6 | corona | 15528 |
| 5 | 플라즈마에서 전자가 에너지를 어느 부분에서.. | 17349 |
| 4 | Breakdown에 대해 | 20717 |
| 3 | plasma와 arc의 차이는? | 22356 |
| 2 | DC glow discharge | 22661 |
| 1 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 133989 |