안녕하세요~

저는 분석장비 판매 회사에 다니고 있습니다.

저희장비중에 3000도까지 올리는 유도가열로가있는데 이 장비는 챔버안에 유도코일이있고 그 가운데에 그라파이트 도가니를 넣습니다. 도가니 안에는 그라파이트 파우더가 들어가있구요.

그리고 챔버 커버를 다 닫은 후 처음에는 진공을 잡습니다. 약 2.8 x10-2까지 그리고 나서 아르곤 가스를 넣어주는데 약 30분정도 흘려주고 히팅을 시작하는데 이때 플라즈마 현상이 발생하고 파워가 현저히 떨어지는것을 볼수 있습니다.

정상동작이라면 이 플라즈마가 없어야 되는데...이 플라즈마가 발생하게되어 장비를 사용못하고 있는 상태입니다.

원인이 진공상태에서 히팅을 가해서 그런가 생각되어 챔버내 아르곤 가스 량을 측정해보았으나 아르곤 압력은 약 0.035Mpa정도 나왔습니다. 또한 그라파이트 파우더가 코일과 주변부를 오염시켜 쇼트 문제인가 해서 챔버도 닦아 봤지만 여전히 같은 현상이 발생합니다.

이 플라즈마 현상이 왜 발생하는지 원인을 알수있을까 해서 이렇게 문의를 드립니다.

감사합니다.