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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 54222
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 62619
29 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 762
28 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 126
27 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 247
26 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 970
25 교수님 질문이 있습니다. [1] 364
24 wafer bias [1] 413
23 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 649
22 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 296
21 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 608
20 DC bias (Self bias) [3] 7342
19 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 4764
18 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 1288
17 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 448
16 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 1791
15 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 7784
14 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 7985
13 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 11274
12 RF plasma에 대해서 질문드립니다. [2] 20053
11 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [1] 22118
10 self bias (rf 전압 강하) 25038

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