번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [46] 859
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 719
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49320
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58465
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 72454
31 LF Power에의한 Ion Bombardment [1] 297
30 CVD 공정에서의 self bias [1] 350
29 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1005
28 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 173
27 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 303
26 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 1259
25 교수님 질문이 있습니다. [1] 409
24 wafer bias [1] 527
23 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 789
22 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 340
21 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 693
20 DC bias (Self bias) [3] 8719
19 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 5374
18 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 1583
17 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 475
16 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 1939
15 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 7964
14 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8161
13 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 11541
12 RF plasma에 대해서 질문드립니다. [2] 20215

Boards


XE Login