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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66719
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34 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 461
33 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 774
32 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] 4315
31 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 1257
30 CVD 공정에서의 self bias [1] 2049
29 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1560
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19 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 9308
18 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2352
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15 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 8635
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