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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68809
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35 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 503
34 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 905
33 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1151
32 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] 4859
31 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 2103
30 CVD 공정에서의 self bias [1] 3168
29 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1940
28 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 451
27 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 554
26 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3451
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24 wafer bias [1] 1142
23 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1168
22 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 603
21 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1007
20 DC bias (Self bias) [3] 11320
19 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] 9536
18 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2805
17 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 693
16 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2255

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