안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 76917
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20304
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57221
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68771
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92748
35 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 450
34 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 492
33 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 554
32 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 603
31 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 692
30 교수님 질문이 있습니다. [1] 762
29 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 901
28 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1007
27 wafer bias [1] 1141
26 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 1146
25 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1168
24 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1933
23 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 2089
22 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2252
21 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2796
20 CVD 공정에서의 self bias [1] 3158
19 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3442
18 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] 4851
17 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8932
16 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 9006

Boards


XE Login