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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[113]
| 4931 |
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 63769 |
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[2]
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33 |
Self Bias
| 35977 |
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sheath와 debye shielding에 관하여
| 26821 |
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self bias (rf 전압 강하)
| 25917 |
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plasma and sheath, 플라즈마 크기
| 23569 |
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플라즈마 쉬스
| 23470 |
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28 |
self Bias voltage
| 22873 |
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floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점
[1] | 22365 |
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CCP 에서 Area effect(면적) ?
| 20891 |
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이온주입량에 대한 문의
| 20446 |
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24 |
RF plasma에 대해서 질문드립니다.
[2] | 20445 |
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self bias
[1] | 19004 |
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ICP에 대하여
| 18037 |
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21 |
[기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다.
[1] | 12000 |
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20 |
DC bias (Self bias)
[3] | 10020 |
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19 |
Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다.
[1] | 8487 |
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18 |
Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다.
[1] | 8442 |
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17 |
RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다.
[1] | 8402 |
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16 |
Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다.
[1] | 3949 |
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15 |
PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문
[1] | 2115 |
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14 |
부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리
[1] | 2047 |
