안녕하세요. 플라즈마 물리를 공부하고 있는 학생입니다.

쉬쓰천이지역쪽을 살펴보는데 이해가 안가는 부분이 있어서 질문올립니다.

 쉬쓰천이지역에서 이온의 속도를 구할 때 왜 전자의 온도를 적용하는지 모르겠습니다.

제가 사용하는 교재에는 맥스웰볼츠만식에서의 속도는 이온의 온도에 의존하는 반면에 이 쉬쓰에 들어오는 이온의 속도는 이온의 온도가 아닌 전자의 온도에 의존하므로 속도가 빨라진다. 라고만 쓰여있는 그 이유에 대해서 언급이 안되어 있습니다.

왜 그런지 알 수 있을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103360
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24718
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61540
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73523
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105955
35 Self Bias [Self bias와 플라즈마 특성 인자] 36746
34 sheath와 debye sheilding에 관하여 [전자와 이온의 흐름] 28432
33 self bias (rf 전압 강하) 27100
32 self Bias voltage [Self bias와 mobility] 24414
31 플라즈마 쉬스 [Sheath와 self bias] 24257
30 plasma and sheath, 플라즈마 크기 24191
29 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [Ambipolar diffusion, Floating potential] [2] 23107
28 CCP에서 Area effect(면적)? [Self bias와 sheath capacitance] 21690
27 RF plasma에 대해서 질문드립니다. [Sheath model, Ion current density] [2] 21370
26 이온주입량에 대한 문의 20907
25 self bias [Capacitor와 mobility] [1] 19810
24 ICP에 대하여 [DC glow 방전과 ICP 플라즈마 발생] 18330
23 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc)+Vp(plasma potential)관련 질문입니다. [플라즈마 전위와 쉬스] [1] 13170
22 DC bias (Self bias) ["Glow discharge processes"] [3] 11965
21 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [Self bias와 matcher] [1] 9800
20 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [RF& DC bias와 matcher의 접지] [1] 9484
19 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [쉬스와 Bulk Plasma 영역] [1] 9205
18 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [자유행정거리, Child law sheath] [1] 5477
17 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [Child-Langmuir sheath model] [2] 4438
16 CVD 공정에서의 self bias [이차 전자 생성, 입사 이온 에너지 분포] [1] 3956

Boards


XE Login