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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Self Bias
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sheath와 debye shielding에 관하여
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self bias (rf 전압 강하)
| 26444 |
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plasma and sheath, 플라즈마 크기
| 23830 |
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플라즈마 쉬스
| 23748 |
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self Bias voltage
| 23651 |
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floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점
[2] | 22702 |
28 |
CCP 에서 Area effect(면적) ?
| 21235 |
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RF plasma에 대해서 질문드립니다.
[2] | 20783 |
26 |
이온주입량에 대한 문의
| 20648 |
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self bias
[1] | 19299 |
24 |
ICP에 대하여
| 18133 |
23 |
[기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다.
[1] | 12521 |
22 |
DC bias (Self bias)
[3] | 10903 |
21 |
Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다.
[1] | 9392 |
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RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다.
[1] | 8794 |
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Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다.
[1] | 8777 |
18 |
Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다.
[1] | 4467 |
17 |
plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다.
[2] | 2921 |
16 |
PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문
[1] | 2488 |