Ion/Electron Temperature 플라즈마내의 전자 속도 [Self bias]

2009.10.16 04:52

정용현 조회 수:22343 추천:145

플라즈마 장비 내의 bias를 100W 정도 주었을 때, 전자의 속도를 알 수 있을까요?

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [337] 111186
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 27740
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 64984
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76787
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 111047
27 플라즈마 온도 [Density와 Temperature] 28229
26 remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [Remote plasma의 Radical] [1] 23626
25 고온플라즈마와 저온플라즈마 23457
» 플라즈마내의 전자 속도 [Self bias] [1] 22343
23 플라즈마 온도 질문+충돌 단면적 [전자의 에너지에 따른 충돌반응] 22239
22 플라즈마 진동수와 전자온도 20378
21 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요 [플라즈마의 온도와 밀도] 19988
20 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [전자 가열 매커니즘과 이온 에너지] [1] 19478
19 등온플라즈마와 비등온플라즈마 [Pressure와 temperature] 18900
18 RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [Power와 Gas ionization] [1] 18392
17 저온 플라즈마에 관한 질문 18362
16 플라즈마 온도중 Tr의 의미 18039
15 고온플라즈마와 저온플라즈마 [Collision과 Wall loss] 17688
14 산업용 플라즈마의 특성 [Thermal Plasma와 Cold Plasma] 15405
13 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [Electron Temperature와 Excitation Temperature] [1] 8512
12 플라즈마 발생 억제 문의 [Induction field와 breakdown] [1] 8357
11 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [Maxwallian EEDF] [2] 3921
10 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3290
9 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [충돌 반응 및 전력 전달 모델] [1] 3071
8 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [Ion energy와 heat, sheath energy] [2] 2479
쓰기
태그

Boards

XE Login