Ion/Electron Temperature electron energy distribution에 대해서 질문드립니다.
2021.04.07 11:16
안녕하세요. 카이스트에서 석사 1년차로 있는 대학원생입니다.
Single probe로 electron energy probability distribution을 구할 때, low energy electron은 bulk plasma에서 평형 상태에 도달한 전자들을 지칭하고 high energy electron은 cathode에서 방출되고 probe sheath를 통해 bulk plasma로 가속되는 전자들을 지칭하는 것으로 알고 있습니다.
이 두 그룹의 전자들을 구분할 수 있는 식이 따로 있는지 궁금합니다. 실험을 통해 얻은 EEPF에서 몇 eV부터 몇 eV까지는 low energy electrons이고 몇 eV부터 몇 eV까지는 high electrons이다 라는 형태의 답을 얻고 싶습니다.
감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76711 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20163 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57163 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68686 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92251 |
| 26 | Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] | 156 |
| 25 | 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] | 373 |
| 24 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 687 |
| 23 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 1011 |
| » | electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] | 3198 |
| 21 | N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] | 2208 |
| 20 | OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] | 5926 |
| 19 | ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] | 1968 |
| 18 | RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 | 2281 |
| 17 | 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] | 1682 |
| 16 | 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 | 3165 |
| 15 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8120 |
| 14 | remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [1] | 22114 |
| 13 | RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [1] | 17694 |
| 12 | 플라즈마내의 전자 속도 [1] | 21894 |
| 11 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 18740 |
| 10 | 플라즈마 온도 질문 + 충돌 단면적 | 21996 |
| 9 | 저온 플라즈마에 관한 질문 | 18193 |
| 8 | 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요?? | 19064 |
| 7 | 등온플라즈마와 비등온플라즈마 | 18767 |
플라즈마는 집합운동을 하는 입자를 대상으로 합니다. 따라서 열적 평형상태를 가집니다. EEDF는 그 중에 전자의 열에너지 특성을 관찰하려는 목적의 진단 인자이며 형태로 부터 진단하려는 플라즈마가 도달한 열적 평형 상태를 관찰할 수가 있습니다. 따라서 교과서의 Maxwellian EEDF의 형태를 이해해 보시는 것이 좋습니다. 측정 대상인 전자'들'이 집단적으로 거동을 함에 있어 어디로 부터 에너지를 받고 잃는 과정을 통해서 현재 분포를 가지게 되었는가? 하는 질문으로 시작하고, 측정한 EEDF가 이 형태와 차이가 나는 에너지를 찾고, 그 크기 (주로 면적이 됩니다)를 찾고, 이 평형 상태는 플라즈마 내의 다양항 충돌 현상으로 부터 유발되니, 어떤 충돌과 에너지 가 개입했는가를 확인하는 과정으로 전개하시면 높은 에너지. 낮은 에너지 구분의 의미, 즉 질문자의 질문에 대한 답을 찾을 수 있을 것 같습니다.