질문에 대한 제 의견은 다음과 같습니다.
: HDP증착공정에서...
: 1.가스를 줄이게 되면 챔버 pressure가 감소하게 되고,
: 이에 따라 전자들의 속도가 증가하게 되겠죠?
: 전자들의 속도가 증가한다는 것은 충돌 가능성이 많아질 수
: 있는 계기가 될 것이고, 이렇게 되면 라디칼이나 양이온의 양이 많아
: 지게 되어 챔버의 온도가 증가하게 어 결국 증착 속도가 증가될거
: 같습니다.

1번에 대한 의견: 충돌 단면적은 전자에너지에 대해서 선형적이지 않습니다. 특정 에너지에서 최대값을 갖고 다시 줄어들게 되는데 이는 자연적입니다. 따라서 이런 현상을 같이 고려해야 할 것 입니다.


: 2. 가스를 증가시키면 챔버 preesure가 증가되게 되고, 이것은
: 전자들이 충돌할 수 있는 소스 가스들이 많아진다는 말이고
: 1과 마찬가지로 라디칼등이 많아지면 챔버 온도가 증가할 거
: 같습니다.
: 역시 증착속도가 증가하겠죠?

2번에 대한 의견: 가스의 밀도가 증가하면 당연히 전자와 충돌하는 빈도수가 증가합니다. 또한 전자의 에너지는 감소하겠지요. 전자의 온도에 따라서, 혹은 에너지에 따라서 여러가지 충돌 반응을 유발하게 됩니다
이온화, 여기, 해리, 흡착, 탄성충돌등이 전자의 엔너지가 낮아 지는 순으로 일어나게 됩니다. 따라서 전자가 어떤 에너지 군에 속하는 가와 충돌의 종류가 많다는 점을 같이 고려해야 합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [102] 3668
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15347
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50580
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63004
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82161
24 플라즈마 온도 26574
23 고온플라즈마와 저온플라즈마 22523
» 플라즈마 온도 질문 + 충돌 단면적 21746
21 플라즈마내의 전자 속도 [1] 21506
20 remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [1] 19497
19 플라즈마 진동수와 전자온도 19467
18 등온플라즈마와 비등온플라즈마 18668
17 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요?? 18236
16 저온 플라즈마에 관한 질문 18072
15 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] 17523
14 플라즈마 온도중 Tr의 의미 17487
13 RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [1] 17086
12 고온플라즈마와 저온플라즈마 16825
11 산업용 플라즈마의 특성 14912
10 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 7878
9 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5612
8 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3017
7 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 2423
6 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2116
5 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1423

Boards


XE Login