안녕하세요. 반도체 관련 회사에 근무하는 엔지니어 입니다.


He Plasma 를 안정적으로 띄우려고 하는데 몇 가지 궁금한 점이 생겨 질문 드립니다.


1) 챔버에 He 외에 다른 gas는 넣지 않고 RF power를 인가했는데 plasma의 색이 아래와 같은 색을 내뿜었습니다.

https://i.ytimg.com/vi/5XPwfbeogi0/hqdefault.jpg

하지만 인터넷에서 찾아본 He plasma의 색은 이 색 외에도 붉은색과 연한 주황색도 있었습니다. 그리고 제가 공장 견학중에 보았던 He plasma의 색은 연한 주황색에 가까웠었습니다.(그때 역시 챔버 내에는 He gas만 있었습니다.)

이상하게 여겨 생각해봤는데, 전자가 여기된 후 n=2인 전자궤도에 떨어질때 빛이 방출되는 것이니 전자가 더 큰 에너지를 받거나 더 적은 에너지를 받아 여기되었다면 다른 색이 나올 수도 있을거라 생각했습니다.

하지만 그렇다면 Gas별로 고유한 plasma색이 있다고 알고있던 사실과 충돌하여 어느 것이 맞는지 궁금합니다.


2) He외에 N2도 같이 넣어 plasma를 띄우니 아래와 같은 색이 나타났습니다.

https://edu.glogster.com/library/proxy?url=https%3A%2F%2Fupload.wikimedia.org%2Fwikipedia%2Fcommons%2F1%2F1f%2FHeTube.jpg

기존에 제가 공장에서 봤던 He plasma 색도 이 색이었는데 왜 N2가 들어가고나서 이런 색이 나오는지 궁금합니다.


3) 질소 플라즈마의 경우에도 알아보니 다양한 색이 나오던데 혹시 DC 인지 RF인지 RF라면 주파수에 따라서도 색이 바뀔 수 있는건가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [99] 3633
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15314
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50570
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62981
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82016
91 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 129
90 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 158
89 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 2507
88 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 329
87 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 331
86 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 266
85 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 366
84 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 1271
83 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 274
82 진학으로 고민이 있습니다. [2] 714
81 질문있습니다. [1] 1396
80 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 442
79 Group Delay 문의드립니다. [1] 883
78 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 2602
77 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 286
76 플라즈마 충격파 질문 [1] 640
75 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 704
74 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 275
» Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 2261

Boards


XE Login