안녕하세요? 

저는 플라즈마에 관심이 많은 학생입니다.


다름이 아니라, 플라즈마 공정 시 어떠한 박막에 대하여 photon이 박막의 결합을 파괴하면서 플라즈마 손상을 줄 수 있다는 내용을 들었는데요,

자외선 측정기들을 찾아보니 mW/cm^2 의 값으로, 측정이 되어 값을 알 수 있는데,

예를 들어 어느 한 결합의 결합 에너지가 10 eV 라면, 자외선 측정기의 값과 결합에너지를 직접적으로 광자에너지의 단위로 비교가 가능할까요?

검색해보니 mW 는 시간을 도입하여 mW x sec --> mJ로 계산이 되고 이를 eV로는 변환할 수 있는 것 까지는 확인하였으나 /cm^2 를 어떻게 해야할지 잘 모르겠습니다.

고견주시면 감사드리겠습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [262] 76503
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20045
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57103
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68585
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91551
100 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 55
99 Microwave & RF Plasma [1] 43
98 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 91
97 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 127
96 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 291
95 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 485
94 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 300
93 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1115
92 플라즈마 관련 교육 [1] 1376
91 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1199
90 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 468
89 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3347
88 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 693
87 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 1047
86 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 447
85 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 917
84 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3642
» 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 464
82 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1022

Boards


XE Login