안녕하세요. 반도체 관련 엔지니어로 근무하고 있는 직장인입니다.

 

현재 공정이 완료된 텅스텐 재료에 대기압 플라즈마를 가하여 정전기 제거를 하고있습니다.

 

Ar gas를 이용하였으며 정전기 측정장비로 제거 되는 것 까지는 확인 되었습니다.

 

추가로 여쭤보고 싶은 부분이 정전기 제거 후에도 반영구적으로 정전기가 발생하지 않는 것도 확인이 되는데요.

 

이 부분에 대해서는 관련 자료를 찾아보아도 나오는 부분이 거의 없어서요.

 

O, N 라디칼들이 계면에서 어떠한 에너지 반응을 일으키는 건지. 텅스텐 표면에 어떤 결합에너지에 영향을 주는 것인지 궁금하네요.

 

플라즈마를 통하여 정전기 방지가 유지되는 것이 어떠한 Process로 진행될 수 있는지 궁금합니다.

 

고견 여쭙겠습니다. 감사합니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [99] 3633
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15314
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50570
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62981
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82016
91 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 129
90 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 158
89 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 2507
» 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 329
87 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 331
86 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 266
85 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 366
84 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 1271
83 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 274
82 진학으로 고민이 있습니다. [2] 714
81 질문있습니다. [1] 1396
80 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 442
79 Group Delay 문의드립니다. [1] 883
78 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 2602
77 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 286
76 플라즈마 충격파 질문 [1] 640
75 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 704
74 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 274
73 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 2261

Boards


XE Login