Others 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해

2024.02.08 19:50

김준서 조회 수:124

안녕하세요, 전자공학과 2학년 학부생입니다.

ICP-RIE system에서 전극의 RF bias에 따른 플라즈마 밀도 변화가 궁금해져 이에 대한 논문을 찾아보던 중, 글로벌 유체 모델에 의해 안테나 코일/전극에 인가된 전력에 비례하고, 소실된 에너지에 반비례한다는 내용을 찾았습니다.

여기서 소실된 에너지는 "1. 전자가 충돌로 잃는 에너지. 2. 이온의 wall 폭격 에너지 3. wall로 나가는 전자의 운동에너지"의 세개의 텀으로 구분되었습니다.

 

아직 플라즈마에 대한 지식이 얕아 기본적인 용어에서도 헷갈리는 부분이 있습니다.

이온 충돌 에너지는 플라즈마 전위&전극의 self bias 전위의 차에 비례하는 것으로 알고 있는데, 그렇다면 상기의 wall=electrode인 것인가요?

그렇다면, "3"은 쉬스를 극복하고, 음전위의 전극을 통해 빠져나가는 전자의 운동에너지를 의미하는 것이 맞는지 여쭤보고 싶습니다.

 

같은 원리로 CCP의 경우, 전자가 Anode 뿐만 아니라, 충분한 운동에너지를 가지고 Cathode에 도달하여 이를 통해 빠져나갈 수 있을까요? 

양이온의 경우 Cathode와 충돌 후 소수의 이온만이 재결합된다고 알고 있는데, 그렇다면 일부 양이온은 cathode를 통해 빠져나갈 수 있나요? 

 

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76739
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20207
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68703
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92291
101 Microwave & RF Plasma [1] 115
» 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 124
99 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 137
98 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 212
97 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 309
96 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 316
95 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 341
94 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 373
93 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 390
92 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 426
91 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 432
90 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 455
89 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 484
88 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 484
87 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 507
86 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 708
85 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 709
84 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 737
83 플라즈마 충격파 질문 [1] 794
82 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 824
쓰기
태그

Boards

XE Login