Others DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지
2023.12.05 19:04
안녕하세요. 기업에서 플라즈마를 활용해 연구 중인 직장인입니다.
아직은 배우고 있는 단계라서 정확히는 모르지만 실험중 일어난 현상에 대해서 조언을 구하고자 질문 드립니다.
석영관을 유전체, 황동을 금속전극으로 Ar가스로 실험중에 석영관이 검게 타면서 작게 구멍이 났습니다.
이런 현상이 자주 발생하는 건지, 그리고 발생하는 원인에 대해서 조언을 구합니다.
감사합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76858 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20263 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57196 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68747 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92611 |
| 101 | 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] | 55 |
| 100 | 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] | 255 |
| 99 | Microwave & RF Plasma [1] | 134 |
| 98 | 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] | 135 |
| » | DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] | 139 |
| 96 | Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] | 314 |
| 95 |
안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다.
[1]  | 514 |
| 94 | E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] | 322 |
| 93 | 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] | 1142 |
| 92 | 플라즈마 관련 교육 [1] | 1414 |
| 91 | RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] | 1255 |
| 90 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 487 |
| 89 | Bias 관련 질문 드립니다. [1] | 3448 |
| 88 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 718 |
| 87 | 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] | 1130 |
| 86 | Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] | 458 |
| 85 | Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] | 962 |
| 84 | 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] | 3798 |
| 83 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 487 |