kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
2009.11.17 16:06
안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다
a) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.
b) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV
Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [218] | 75408 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19148 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56477 |
| » | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67537 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 89320 |
| 95 |
안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다.
[1]  | 183 |
| 94 | E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] | 228 |
| 93 | 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] | 1033 |
| 92 | 플라즈마 관련 교육 [1] | 1124 |
| 91 | RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] | 1034 |
| 90 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 392 |
| 89 | Bias 관련 질문 드립니다. [1] | 3127 |
| 88 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 599 |
| 87 | 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] | 846 |
| 86 | Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] | 407 |
| 85 | Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] | 721 |
| 84 | 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] | 3205 |
| 83 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 425 |
| 82 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 927 |
| 81 | 질문있습니다. [1] | 2392 |
| 80 | Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] | 632 |
| 79 | Group Delay 문의드립니다. [1] | 1064 |
| 78 | ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] | 3577 |
| 77 | VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] | 391 |