Others Bias 관련 질문 드립니다.
2022.01.11 14:32
안녕하세요 교수님. 반도체 공정팀에서 근무하는 엔지니어입니다.
RIE 장비 Process 담당하게 되어 공부중인데
Recipe Tuning 중 Bias Select 모드에서,
Bias 를 W 와 V 중 선택하게 되었는데 둘의 차이점이 궁금합니다.
또한 self bias와 관련이 있는지 답변해주시면 감사하겠습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76743 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20213 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57169 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68706 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92299 |
100 | 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] | 214 |
99 | Microwave & RF Plasma [1] | 115 |
98 | 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] | 124 |
97 | DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] | 137 |
96 | Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] | 309 |
95 | 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] | 507 |
94 | E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] | 316 |
93 | 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] | 1132 |
92 | 플라즈마 관련 교육 [1] | 1408 |
91 | RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] | 1242 |
90 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 484 |
» | Bias 관련 질문 드립니다. [1] | 3416 |
88 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 708 |
87 | 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] | 1118 |
86 | Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] | 456 |
85 | Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] | 951 |
84 | 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] | 3753 |
83 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 484 |
82 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 1030 |