Others TMP에 대해 다시 질문 드립니다.

2009.09.27 23:42

서현 조회 수:18308 추천:146

저희 장비에는  TMP컨트롤러가 설치되어 있지 않습니다.
그렇기 때문에 앞서 질문드렸던 것 처럼 정지시까지 3시간 OFF  time을 주고 있습니다.

문제는 이 3시간 입니다.

어떤 사유로 실험을  반복 한다든지 아니면 늦게 시작 한다 든지 ...
이럴 땐  TMP off time 3시간이 정말 길게 느껴지네요...

제가 느끼기에  TMP on또는 off 시 제트엔진 소리가 들립니다.
그리고 실험 과정에서도  챔버와 게이트밸브의 열고 닫음을  제트엔진 소리체크 합니다.

하지만 제트엔진 소리 10분 내에 사라집니다.

그럼 제트 엔진 소리가 들리지 않는다는것은 TMP가 멈추었다는 거 아닌가요???
전원을 내려도 되는 거 아닙니까??

TMP RPM이 0 에 올때까지 얼마나 걸리나요?

그것이 TMP OFF  인데...아무리 생각해도 3시간이란 시간은 너무 긴거 같아서요..

인터넷에서 저희 가 사용하는 TMP 메뉴얼 찾아보고 있는데 상당히 짜증납니다.
3시간 기다리는것도 지겨워 죽겠고...
오늘도 실험실에서  자정을 넘기며~ 글을 남깁니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77242
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20468
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57374
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68904
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92951
63 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1443
62 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] 6335
61 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1460
60 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 378
59 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1404
58 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4259
57 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6479
56 VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] 55007
55 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8585
54 반도체 관련 질문입니다. 28582
53 질문 있습니다. [1] 18371
52 질문이 몇가지 있읍니다. [1] 19200
51 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] 21342
50 Plasma Gas의 차이점 [1] 18033
» TMP에 대해 다시 질문 드립니다. 18308
48 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19366
47 [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19587
46 궁금해서요 16324
45 핵융합과 핵폐기물에 대한 질문 16024
44 플라즈마의 정의 18050

Boards


XE Login