Others VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다.
2012.09.07 03:25
안녕하세요. 반도체에 종사하는 엔지니어입니다.
플라즈마에 대한 기초지식이 없어 설비 Trace 하는데 어려움이 있어 도움 요청합니다.
질문
1.VPP가 어떤건지?
2.VDC가 어떤건지?
3.VPP 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
4.VPP 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
5.VDC 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
6.VDC 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
7.플라즈마는 압력,TEMP에 대해서 어떻게 변하는지?
위 7개 항목에 대해서 알고 싶습니다.
참고. 반도체 Batch 장비 , ALD막 생성에 쓰이는 장비입니다.
정말 감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [270] | 76745 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20216 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57169 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68706 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92304 |
61 | 강의를 들을 수 없는건가요? [2] | 1446 |
60 | 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate | 373 |
59 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1390 |
58 | RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] | 4181 |
57 | 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] | 6465 |
» | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 54903 |
55 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8580 |
54 | 반도체 관련 질문입니다. | 28579 |
53 | 질문 있습니다. [1] | 18368 |
52 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19192 |
51 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21331 |
50 | Plasma Gas의 차이점 [1] | 17975 |
49 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 18005 |
48 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19356 |
47 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19540 |
46 | 궁금해서요 | 16316 |
45 | 핵융합과 핵폐기물에 대한 질문 | 16023 |
44 | 플라즈마의 정의 | 18042 |
43 | 교재구입 | 20725 |
42 | 실생활에서 사용되는 플라즈마 | 18316 |