안녕하세요 서울대학교 박사과정 학생입니다. 

실험을 설계하는중 플라즈마 공정에 관해서 모르는 점이 많아서 여쭤봅니다. 

O2 Plasma etch공정에서 저희가 sample이 받는 Total 플라즈마 에너지 혹은 etch rate을 일정하게 
유지하면서 Power를 바꿔보고싶습니다. 가스 flow rate 와 가스 종류, 시간은 바꾸지 않고 power와 pressure만 컨트롤 해서 유지가 가능할까요? 이렇게 할 경우에 Power가 바뀔시 Pressure가 어떤식으로 바껴야 Plasma energy를 가능한 일정하게 유지할 수있는지를 알수있는 식이나 상관관계가 있나요? 
예를 들어서,  power: 50W, 에서 100W로 두배 올릴때 압력은 어떤 변화를 가지게 되나요?
정확한 수치를 계산하는 목적이 아닌 대략적으로라도 실험을 일관성 있게 진행하려는 목적으로 질문을 드립니다. 
답변 부탁드리겠습니다. 


감사합니다. 
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77260
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20473
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57383
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68910
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92959
» O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1443
62 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] 6348
61 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1463
60 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 378
59 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1404
58 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4269
57 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6481
56 VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] 55016
55 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8585
54 반도체 관련 질문입니다. 28582
53 질문 있습니다. [1] 18371
52 질문이 몇가지 있읍니다. [1] 19200
51 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] 21342
50 Plasma Gas의 차이점 [1] 18038
49 TMP에 대해 다시 질문 드립니다. 18308
48 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19366
47 [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19590
46 궁금해서요 16324
45 핵융합과 핵폐기물에 대한 질문 16024
44 플라즈마의 정의 18050

Boards


XE Login