Others 플라즈마의 상태

2004.06.19 16:56

관리자 조회 수:14078 추천:270

플라즈마는 전기적으로 준 준성상태를 유지하고 있습니다. 이는 전자들과 이온들의 양이 거의 같은 수로 존재함을 의미합니다. 하지만 질문에서 처럽 negative ion 즉 중성 입자에 전자의 attechement process에 의해서 음 전하를 갖느 이온들이 있는 경우 플라즈마는 양이온, 음이온, 전자들로 구성되게 됩니다. (음이온의 양은 중성입자에 전자의 흡착으로 만들어 짐으로 음이온 발생량만큼 전자의 수는 줄게 됩니다.) 이때양이온과 음이온은 질량 크기는 같으나 하전극성이 반대가 되며 음이온과 전자들은 하전 극성은 같으나 그 질량의 크기는 다르게 됩니다. 이 경우도 플라즈마 내에느 준 중성 상태가 그대로 유지됨으로 양이온 밀도= 음이온 밀도+ 전자 밀도의 조건이 성립하게 되며 책에서는 이경우를 언급하고 있는 것 입니다. 음이온이 발생하는 경우는 주기률 표의 7족 물질들의 전자 친화력이 켜서 쉽게 전자들과 결합을 잘하게 되어 음이온의 발생이 큽니다. 이들 7족 물질(F, cl2 etc)들은 대개 식각개스로 사용되어서 식각개스로 사용되어서 식각 플라즈마에서는 이 같은 electro-negative 한 plasma의 형성이 빈번하게 일어나게 돕니다. 또한 에칭 등에사용되는 산소 플라즈마에서도 음이온의 발생은 압력 조건에 따라 매우 민감하게 형성되며 이러한 결과는 저희 실혐실 연구에서도 잘 나타나고 있습니다. 설명이 도움이 되길 바람니다.

플라즈마를 공부하다 이해가 되지 않는 부분이 있어서 이렇게 게시판에 올립니다.
책에 있는 내용을 그대로 적겠습니다.

the concertration of negative ions usually is substantially less than the concentration of positive ions because of the charge neutrality requirement for the glow discharge(i.e. density of electrons negative ion = density of positive ions)    
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] 76779
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20224
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57178
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68721
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92398
22 문의 드립니다. [1] 869
21 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 824
20 플라즈마 충격파 질문 [1] 801
19 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 737
18 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 712
17 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 709
16 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 509
15 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 485
14 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 485
13 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 456
12 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 435
11 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 427
10 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 390
9 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 374
8 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 341
7 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 317
6 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 310
5 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 226
4 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 138
3 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 125

Boards


XE Login