Others SCCM 단위에 대하여 궁금합니다.
2004.06.25 13:02
===============================<질문>=======================================
안녕하십니까??
궁금한게 있어여...
플라즈마 장비를 공부하다가 이상한 단위를 만나서요...
좀 알려 주세요.. sccm 이라는 건데요...
무슨 가스량을 나타내는 단위이긴 한거 같은데.. 정확한 내용을 몰라서요..
어떤 뜻인지..알고 계시면 좀 알려주세요.. 부탁 드립니다.. 좋은 하루 되세요...
==============================<답변>========================================
SCCM 은 flow rate를 의미합니다. 즉 torr-liter/sec (t-l/s)와 같이 쓰입니다.
sccm은 standard cc per minute로 (0C, 1atm 상태에서의 값입니다.)
1sccm= 6.02e23/22400cm^3 molecules / min 즉 분당에 2.7e19개의 분자입자들이 흘러들어가는 정도의 기체유량을 의미합니다.
참고로 1 t-l/sec와는 79.05sccm인 관계가 있으며 1 t-l/sec= 2.13e21 molecules/min의 관계입니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76736 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68702 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
101 | Microwave & RF Plasma [1] | 115 |
100 | 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] | 124 |
99 | DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] | 137 |
98 | 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] | 211 |
97 | Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] | 309 |
96 | E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] | 316 |
95 | Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 | 341 |
94 | 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate | 373 |
93 | 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] | 390 |
92 | VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] | 426 |
91 | 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] | 432 |
90 | Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] | 455 |
89 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 484 |
88 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 484 |
87 | 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] | 507 |
86 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 708 |
85 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 709 |
84 | Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] | 737 |
83 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 794 |
82 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 824 |