Others RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성
2016.04.30 22:43
안녕하세요. 눈팅만 몇달을하다..한가지 질문해봅니다..답변이 언제될지모르겠지만..기다리겠습니다..우선좋은 자료를 쉽게설명해줘서 재밌게읽고 아해하고있습니다..궁금한게있는데요..
제가 반도체회사근무중인데..
RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성이 궁금합니다..평가결과는 영향성이있는거같은데..어떻게 메카니즘을 풀어야할지 모르겠네요..
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [274] | 76811 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20240 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57186 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68736 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92569 |
82 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 825 |
81 | 문의 드립니다. [1] | 869 |
80 | Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] | 960 |
79 | O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] | 962 |
78 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 1034 |
77 | 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] | 1126 |
76 | 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] | 1135 |
75 | Group Delay 문의드립니다. [1] | 1146 |
74 | RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] | 1247 |
73 | 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] | 1295 |
72 | 플라즈마 내에서의 현상 [1] | 1391 |
71 | 플라즈마 관련 교육 [1] | 1410 |
70 | O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] | 1425 |
69 | 강의를 들을 수 없는건가요? [2] | 1451 |
68 | O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] | 1565 |
67 | 질문있습니다. [1] | 2574 |
66 | Bias 관련 질문 드립니다. [1] | 3433 |
65 | Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] | 3464 |
64 | 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] | 3786 |
63 | ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] | 3972 |