Others 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다
2022.11.23 13:36
안녕하세요
현재 반도체관련 회사에 인턴중입니다.
다름아니라 스퍼터 내부 플라즈마 주파수를 이론상 예측하려고하는데요,
electron density 혹은 power나 voltage로 계산할 수 있는 수식이 있나 여쭤봅니다.
책가방정도의 크기의 챔버에 100W정도 흘릴 예정입니다.
혹시 비슷한 상황에서 플라즈마 주파수를 측정해본 적 있으시다면 조언 부탁드립니다
감사합니다!
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76871 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20273 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57199 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68751 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92694 |
42 | RF에 대하여,, | 17051 |
41 | Light flower bulb | 17081 |
40 | 플라즈마를 이용한 발광시스템에 관한 연구 | 17087 |
39 | 불꽃이 쫒아오는 이유 | 17621 |
38 | 플라즈마와 자기장의 상호작용 | 17627 |
37 | QMA에서 electron beam의 generation 과정 [1] | 17852 |
36 | Plasma Gas의 차이점 [1] | 17998 |
35 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 18012 |
34 | 플라즈마를 알기위해서는 어떤것을 알아두는 것이 좋.. | 18021 |
33 | 플라즈마의 정의 | 18044 |
32 | 진로상담 | 18147 |
31 | 마그네트론관 또는 그외반도체소자로 물을 고열증발가능? | 18217 |
30 | 플라즈마와 사용되는 기체선택 | 18249 |
29 | PDP 에 대해서.. | 18306 |
28 | 실생활에서 사용되는 플라즈마 | 18319 |
27 | 질문 있습니다. [1] | 18368 |
26 | 형광등에서 일어나는 물리적인 현상 | 18537 |
25 | 플라즈마을 막는 옷의 소재는? | 18553 |
24 | 핵융합 발전에서는 폐기물이 않나오는 .... | 18568 |
23 | 주변의 플라즈마에 대하여 | 18654 |