안녕하세요. 반도체 회사 근무중인 송용재입니다.
3가지 질문을 드리려고 합니다.
염근영 교수님 플라즈마 식각 기술이라는 책을 구매하여 보고있는데 제 실력이 부족해서 이해가 되지않아 질문 남깁니다.
1. 이온의 속도는 왜 전자의 온도로 결정되는건가요? 공식은 알겠지만 .. 메카니즘이 이해되지 않아 질문 남깁니다.
2. RF 등가회로는 왜 저항으로 표기 되는건가요??
3. 파센법칙 관련해서 질문드립니다.
진공상태에서 거리가 멀어지는데 왜 입자수가 증가되는건가요?
입자간의 전기장은 전자의 가속과 왜 관계가 있는건가요?
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76858 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20263 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57195 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68747 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92611 |
21 | 플라즈마에 관하여... | 18963 |
20 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19194 |
19 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19357 |
18 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19555 |
17 | smsith chart 공식 유도하는 방법? | 19659 |
16 | CCP의 Vp가 ICP의 Vp보다 높은 이유 | 20012 |
15 | 형광등과 플라즈마 | 20256 |
14 | 교재구입 | 20725 |
13 | 플라즈마란? | 21060 |
12 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21333 |
11 | 플라즈마 실험 | 21349 |
10 | manetically enhanced plasmas | 21661 |
9 | 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. | 23455 |
8 | 플라즈마와 자기장의 관계 | 28376 |
7 | 반도체 관련 질문입니다. | 28580 |
6 | 물질내에서 전하의 이동시간 | 29402 |
5 | 플라즈마의 정의 | 29479 |
4 | 플라즈마 밀도 | 30008 |
3 | RF frequency와 RF power 구분 | 39082 |