Others VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다.

2012.09.07 03:25

ysppaku 조회 수:54917

안녕하세요. 반도체에 종사하는 엔지니어입니다.

플라즈마에 대한 기초지식이 없어 설비 Trace 하는데 어려움이 있어 도움 요청합니다.

질문

1.VPP가 어떤건지?

2.VDC가 어떤건지?

3.VPP 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?

4.VPP 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?

5.VDC 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?

6.VDC 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?

7.플라즈마는 압력,TEMP에 대해서 어떻게 변하는지?

위 7개 항목에 대해서 알고 싶습니다.

참고. 반도체 Batch 장비 , ALD막 생성에 쓰이는 장비입니다.

정말 감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [272] 76803
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20238
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57185
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68734
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92558
22 문의 드립니다. [1] 869
21 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 825
20 플라즈마 충격파 질문 [1] 802
19 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 738
18 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 713
17 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 709
16 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 511
15 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 485
14 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 485
13 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 456
12 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 437
11 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 428
10 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 390
9 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 375
8 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 342
7 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 318
6 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 311
5 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 232
4 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 138
3 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 130
쓰기
태그

Boards

XE Login