Others Bias 관련 질문 드립니다.
2022.01.11 14:32
안녕하세요 교수님. 반도체 공정팀에서 근무하는 엔지니어입니다.
RIE 장비 Process 담당하게 되어 공부중인데
Recipe Tuning 중 Bias Select 모드에서,
Bias 를 W 와 V 중 선택하게 되었는데 둘의 차이점이 궁금합니다.
또한 self bias와 관련이 있는지 답변해주시면 감사하겠습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [270] | 76746 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20216 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57169 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68706 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92304 |
81 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19192 |
80 | 플라즈마에 관하여... | 18960 |
79 | 주변의 플라즈마에 대하여 | 18654 |
78 | 핵융합 발전에서는 폐기물이 않나오는 .... | 18565 |
77 | 플라즈마을 막는 옷의 소재는? | 18552 |
76 | 형광등에서 일어나는 물리적인 현상 | 18527 |
75 | 질문 있습니다. [1] | 18368 |
74 | 실생활에서 사용되는 플라즈마 | 18316 |
73 | PDP 에 대해서.. | 18306 |
72 | 플라즈마와 사용되는 기체선택 | 18240 |
71 | 마그네트론관 또는 그외반도체소자로 물을 고열증발가능? | 18215 |
70 | 진로상담 | 18146 |
69 | 플라즈마의 정의 | 18042 |
68 | 플라즈마를 알기위해서는 어떤것을 알아두는 것이 좋.. | 18021 |
67 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 18005 |
66 | Plasma Gas의 차이점 [1] | 17975 |
65 | QMA에서 electron beam의 generation 과정 [1] | 17848 |
64 | 플라즈마와 자기장의 상호작용 | 17626 |
63 | 불꽃이 쫒아오는 이유 | 17621 |
62 | 플라즈마를 이용한 발광시스템에 관한 연구 | 17087 |