Others VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다.
2012.09.07 03:25
안녕하세요. 반도체에 종사하는 엔지니어입니다.
플라즈마에 대한 기초지식이 없어 설비 Trace 하는데 어려움이 있어 도움 요청합니다.
질문
1.VPP가 어떤건지?
2.VDC가 어떤건지?
3.VPP 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
4.VPP 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
5.VDC 정상 Trend에서 High Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
6.VDC 정상 Trend에서 Low Hunting 발생한 경우 왜 그런지?
7.플라즈마는 압력,TEMP에 대해서 어떻게 변하는지?
위 7개 항목에 대해서 알고 싶습니다.
참고. 반도체 Batch 장비 , ALD막 생성에 쓰이는 장비입니다.
정말 감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] | 78047 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20850 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57738 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69253 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93636 |
101 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. | 145974 |
» | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 55190 |
99 | RF frequency와 RF power 구분 | 39154 |
98 | 플라즈마 밀도 | 30152 |
97 | 플라즈마의 정의 | 29553 |
96 | 물질내에서 전하의 이동시간 | 29410 |
95 | 반도체 관련 질문입니다. | 28595 |
94 | 플라즈마와 자기장의 관계 | 28557 |
93 | 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. | 23533 |
92 | manetically enhanced plasmas | 21678 |
91 | 플라즈마 실험 | 21366 |
90 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21360 |
89 | 플라즈마란? | 21082 |
88 | 교재구입 | 20735 |
87 | 형광등과 플라즈마 | 20288 |
86 | CCP의 Vp가 ICP의 Vp보다 높은 이유 | 20045 |
85 | smsith chart 공식 유도하는 방법? | 19680 |
84 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19636 |
83 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19378 |