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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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RF power에 대한 설명 요청드립니다. [Child-Langmuir sheath 및 Debye length]
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RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [플라즈마 유전상수]
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ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [Self bias 및 플라즈마 방전 매커니즘]
[2] | 4178 |
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진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [Chemisorption과 pruege gas]
[1] | 4054 |
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Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [Gas별 고유한 플라즈마 색]
[1] | 3733 |
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Bias 관련 질문 드립니다. [Ion plasma frequency]
[1] | 3602 |
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질문있습니다. [전자 에너지 분포함수 및 Maxwell 분포]
[1] | 2640 |
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O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [Physical sputtering과 cleaning]
[1] | 1614 |
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플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료]
[1] | 1542 |
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강의를 들을 수 없는건가요? [플라즈마 진단 심포지움 및 PSES-net]
[2] | 1509 |
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O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [Global model]
[1] | 1491 |
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플라즈마 내에서의 현상 [Neo-classical transport theory]
[1] | 1436 |
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플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요 [RF power와 power factor]
[1] | 1407 |
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RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [RF Power와 reflection]
[1] | 1391 |
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잔류시간 Residence Time에 대해 [표면 유속 정보, 유체해석 코드]
[1] | 1264 |
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Group Delay 문의드립니다. [마이크로파]
[1] | 1202 |
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플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [Global model과 Balance equation]
[1] | 1189 |
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진학으로 고민이 있습니다. [복수전공]
[2] | 1099 |
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Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground]
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O2 Plasma 에칭 실험이요
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공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.