Others 플라즈마 밀도와 라디칼

2024.03.13 13:45

김준서 조회 수:381

안녕하세요, 플라즈마에 대해 공부중인 3학년 학부생입니다.

 

플라즈마 밀도는 탐침을 통해 전자의 밀도를 측정함으로써 계산한다고 알고 있습니다.

플라즈마는 준준성이므로, 사실상 이는 이온의 밀도와도 거의 비슷할 것으로 생각합니다.

그렇다면 라디칼의 밀도 또한 플라즈마 밀도와 비례하는 것이 맞나요?

 

전자&이온 밀도 증가<-비탄성 충돌을 일으킬만한 에너지를 가진(가속된) 전자가 충분하며, gas의 몰(mole)수도 충분함

<-따라서 라디칼의 생성 확률도 높음

 

추가적으로, Pressure가 플라즈마 밀도에 끼치는 영향이 궁금한데,

인터넷에서는 압력이 증가하면 기체 몰수가 증가하므로 그만큼 이온&라디칼이 많아진다고 설명하는 글이 많았습니다.

하지만 흔히 알려진 파셴법칙과 연결해서 생각해보면, 압력이 증가할수록 MFP 또한 짧아지기 때문에 그만큼 전자가 충분히 가속되지 못할 가능성이 있다고 생각합니다. 따라서 최대한의 플라즈마 밀도 구현을 위해서는 적절한 Pressure을 설정해 주어야한다고 생각하는데, 해당 분석이 맞을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [284] 77284
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20486
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57404
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68931
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92985
23 문의 드립니다. [1] 886
22 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 835
21 플라즈마 충격파 질문 [1] 817
20 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 761
19 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 741
18 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 718
17 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 540
16 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] 504
15 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] 502
14 Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] 476
13 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 475
12 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 436
11 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 397
» 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 381
9 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 378
8 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 346
7 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 338
6 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 337
5 Microwave & RF Plasma [1] 175
4 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 162

Boards


XE Login