ATM Plasma DBD플라즈마와 플라즈마 impedance

2004.06.21 15:14

관리자 조회 수:20225 추천:300

DBD플라즈마와 플라즈마 impedance

질문이 두가지 입니다.
DBD플라즈마와 플라즈마 impedance
(1) DBD플라즈마 : 현재 저희 실험실에서는 주파수 별로 실험을 하고 있습니다. microwave를 이용하는것은 그 일부이고 microwave를
이용한 breakdown은 제가 보기에는 DBD에서의 플라즈마발생과 다른 것 같습니다. microwave에서는 field에 의한 breakdown이 주된
플라즈마 발생인 것 같으며 dielectric에 하전된 전하의 역할에 대해서는 잘 알지 못하고 있습니다. 계속 공부를 해야 할 사항입니다.
아울러 저희 실험실에서는 충돌성이 높은 플라즈마에서 탐침에 의한 자료를 얻어보려고 하고 있습니다. 이 또한 연구 결과가 나오는
대로 발표할 예정입니다.


(2) 플라즈마 impedance는 특히 pulse discharge에서는 dynamic 하게 바뀌기 때문에 매우 문제가 심각합니다. 따라서 시간에 따른
impedance변화에 대한 연구가 활발하게 진행되고 있기도 합니다.
질문에서 말하고 있는 plasma impedance의 개념이 일반적인 개념과 차이가 있어보입니다. RF plasma발생에서 50 ohm impedance는
플라즈마의 것이 아닌 power supply의 impedance (real part)를 의미합니다. 즉 power supply의 impedance를 기준으로 matching
network가 형성되는 것입니다. 따라서 외부 impedance의 총량에는 matching system의 impedence, power line의 impedence(예로서
coaxial cable은 33pF/ft의 C를 갖습니다.)와 발생플라즈마의 impedance가 포함되며 이값들을 power supply의 50ohm에 맞추도록
matching network가 작동하게 됩니다. 물론 플라즈마의 온도와 밀도등이 바뀜에 따라서 플라즈마의 impedance가 바뀌게 되므로
matching network에서는 C나 L을 조절해서 보정해 나가게 됩니다. 간단하게 플라즈마의 impedance를 검사하는 방법으로는 Langmuir
probe에서 얻어진 I-V trace에서 I-V의 기울기의 역수에서 만들어진 plasma의 impedance를 예측할 수 있습니다
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77242
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20468
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57374
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68904
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92951
24 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 54
23 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 274
22 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 988
21 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 822
20 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1412
19 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1340
18 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2707
17 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8638
16 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 8160
15 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] 20317
14 대기압 플라즈마 40726
13 상압 플라즈마 관련 문의입니다. [1] 21524
12 대기압플라즈마를 이용한 세정장치 21553
11 대기압 상태의 플라즈마 측정 19737
10 Lissajous figure에 대하여.. 20635
9 기중방전에서 궁금한것이 19171
8 상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. 19777
» DBD플라즈마와 플라즈마 impedance 20225
6 DBD plasma 18103
5 플라즈마를 이용한 오존 발생장치 28967

Boards


XE Login