ATM Plasma Lissajous figure에 대하여..

2004.07.02 00:31

이석근 조회 수:20632 추천:281

질문 ::

안녕하셨습니까? 저번 제주도 학회때 인사드렸던, 연세대 정보표시재료 연구실의 이응석입니다. 다름이아니라,, 논문을 읽다보니 Lissajous figure를 이용하여 대기압 플라즈마의 특성을 분석하곤 하는데,, 여러 져널을 뒤져봐도 Lissajous figure에 대하여 정확히 기술된 논문을 구하지 못하여 이렇게 부탁드립니다. 제가 알고싶은것은 원리, 실험적인 측정방법, plot하는 법등을 알고 싶은데,, 혹시 이러한 의문점에 대하여 참고할 만한 서적이나 논문이 있으면 좀 부탁드리겠습니다.


답변 ::

저희 실험실을 찾아주셔서 감사합니다.
먼저 Lissajous figure는 보통 대기압 플라즈마에서 Q-V Lissajous 곡선을 통하여 그 특성을 알수 있는데 Q-V Lissajous 란 인가된 전압에 따라 하전되는 전하량의 변화를 나타내는 곡선입니다.  Lissajous  곡선을 이용하여 대기압플라즈마의 특성을 알 수 있는데 먼저 Lissajous  곡선을 평행사변형이라 가정하고 소모에너지, 소모 전력를 구할수 있습니다. 또한 대기압플라즈마 중에서도 DBD(Dielectric barrier Discharge)는 arc방전을 억제하고 스트리머를 발생하기 위해 유전체를 전극사이에 삽입하게 되고, 따라서 반응기에는 공기의 정전용량과 유전체의 정전용량이 존재하게 됩니다. 이때 Q-V Lissajous 곡선을 사용하면 인가전압의 변화에 따라 공간내에 절연 파괴가 일어나기 전 전하량의 변화를 통하여 반응기 전체 정전용량을 구할수 있습니다. 그리고 절연파괴가 일어난 후  전하량의 변화를 통하여  절연체의 정전용량을 얻을 수 있습니다.  
Q-V Lissajous 곡선은 전류를 적분하여 전하량 Q를 통하여 얻을수 있습니다.

더 자새한 사항은
- Manheimer, Sugiyama, Stix " Plasma Science and The Enviroment ", AIP PRESS, 1997
- T. C. Manley " The Characteristics of The Ozonator Discharge", Trans. Elctrochem.Soc. 1943
- 박봉경, 김윤환, 장봉철, 조정현, 김곤호 "반응기 정전용량 변화에 따른 대기압 DBD반응기의 동작특성 연구", Journal of the Korean Vacuum Society, 440-448, 10(4), 2001
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