질문 ::

플라즈마를 상압상태정도의 고압으로 올려서 사용하게 될 경우
이온의 온도가 올라가 플라즈마가 기판에 손상을 가하는 문제에 대해
구체적인 해결방안이나 도움이 될만한 자료를 얻고 싶습니다.

답변 ::

매우 어려운 문제입니다. 저희도 유사한 문제에서 많은 고민을 합니다만 현재 사용하는 장치의 개요가 없는
상태에서는 무어라 답변을 하기가 어렵습니다.
일단 기판에 damage가 플라즈마 이온의 온도에 대한 영향임을 확인할 수 있어야 합니다. 일반적으로는
이온 보다는 대기압 정도의 고압에서 가열된 중성개스 입자에 의한 영향을 생각합니다. 만일 이온에 의한
영향이라면 이온 표면까지 도달하기 힘든 조건을 만들어야 할 것이며 이 방법으로는 전기적인 방법을
사용해야 할 것이나 쉽지 않겠지요, 혹은 충돌성이 높음으로 이온으로 존재하는 거리가 짧을 것입니다.
따라서 충분히 플라즈마 소스로 부터 거리를 멀리하여 해결할 수도 있을 것입니다.
좀더 자세한 논의는 시스템에 대한 정보가 요구됩니다. 위의 사항을 잘 고려해 보시기 바랍니다.

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