ATM Plasma N2 환겨에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [방전 장치의 플라즈마 성능 평가]
2014.01.07 19:43
안녕하세요, 김곤호 교수님.
저는 동일기연이라는 Ionizer 제조회사에 근무하고 있습니다.
Ionizer는 코로나 방전의 원리를 이용하여 양이온과 음이온을 발생시키고 그 이온을 대전물체에 전달시켜 정전기를 중화시키는 제품입니다.
최근 적용 공정 중에 일반 Air가 아닌 순수 N2(99.999%)에서의 Ionizer의 동작과 관련하여 난해한 문제가 생겨 이렇게 질문을 드립니다.
현재 일본 경쟁사 측에서 일반 Ionizer는 Air 환경 하에서는 양이온과 음이온이 평행을 이루며 나오지만,
순수 질소환경에서는 그 이온 발생이 평행을 이루지 못하며, 이상 방전을 한다는 주장을 하고 있습니다.
일본 경쟁사의 논리는 하기와 같습니다.
1. 전압 인가 시 음극에서 이상방전 발생[첨부 그림파일 참조 부탁드립니다. 1.JPG 파일]
- +전압 인가에서는 Air와 N2 일때 전압과 전류의 차이가 크지 않으나, -전압 인가에서는 약 -3kV에서 전류가 급격하게 변함.
2. N2환경에서 일반 이오나이저 사용 시 이온 균형이 이상함.[첨부 그림파일 참조 부탁드립니다. 2.JPG 파일]
- 일반 Air에서는 +이온과 -이온의 발생이 균형을 이루어 0V의 이온 밸런스를 나타냄.
- N2 환경에서는 이온 밸런스가 -1400V ~ -1600V로 - 측으로 이온밸런스가 편향되는 것으로 나타남.
3. 주기율표 상에서 질소는 음이온이 되지 않음.
4. 질소 환경에서는 전자 Trap이 없어 전자가 빨리 움직일 수 있음.
상기의 경쟁사 주장에 대하여 확인할 자료나 논문을 찾아보았으나, 찾을 수가 없어 이렇게 교수님께 질의를 드리게 되었습니다.
상기 내용에 대하여 조언을 꼭 부탁드리겠습니다.
감사합니다.