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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[278]
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20276 |
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문
[1] | 95 |
27 |
반사파에 의한 micro arc 질문
[2] | 118 |
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CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여
[2] | 188 |
25 |
plasma striation 관련 문의
[1] | 485 |
24 |
CCP RIE 플라즈마 밀도
[1] | 585 |
23 |
연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준
[1] | 599 |
22 |
주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가
[1] | 710 |
21 |
라디컬의 재결합 방지
[1] | 808 |
20 |
RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때
[1] | 874 |
19 |
CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응
[1] | 991 |
18 |
anode sheath 질문드립니다.
[1] | 1004 |
17 |
CCP Plasma 해석 관련 문의
[1] | 1018 |
16 |
HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의
[1] | 1075 |
15 |
Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance
[1] | 1329 |
14 |
PECVD와 RIE의 경계에 대해
[1] | 1473 |
13 |
CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다.
[3] | 1625 |
12 |
CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계
[1] | 2291 |
11 |
CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요?
[3] | 3564 |
10 |
CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다.
[1] | 5099 |
9 |
CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활
[1] | 7660 |