CCP 반사파에 의한 micro arc 질문

2024.03.30 12:47

매쳐 조회 수:118

안녕하세요 교수님

CCP type의 PECVD 공정을 맡고 있는 직장인입니다.

매번 교수님의 설명으로 큰 도움 받고 있습니다, 대단히 감사드립니다.

 

이번에는 reflect power에 의한 arc 관련 질문 드립니다.

우선 현상은 이렇습니다. HF 가 turn on 되고나서 수 m sec 동안 matcher 가 즉각적으로 대응하지 못하여, 인가되는 power가 전부 반사되는 상황입니다. Power는 1000W 수준이고 수 m sec 이후에는 reflect를 정상적으로 제압해 나갑니다.

 

Reflect가 발생하는 수 m sec동안 micro arc 가능성이 있다는 얘길 들었습니다. Arc 의 조건에 해당 상황이 부합하지 않는데, 어떤 원리로 arc가 발생할 가능성이 있을까요?

 

늘 감사드립니다.

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