번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5876
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17332
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53153
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64560
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85171
24 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 85
23 plasma striation 관련 문의 [1] file 226
22 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 392
21 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 464
20 라디컬의 재결합 방지 [1] 492
19 anode sheath 질문드립니다. [1] 564
18 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 568
17 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 575
16 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 740
15 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 812
14 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 986
13 CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계 [1] 1283
12 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 1290
11 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1306
10 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 2687
9 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7371
8 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] 16238
7 CCP 의 electrode 재질 혼동 16250
6 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] 16669
5 capacitively/inductively coupled plasma 17557
쓰기
태그

Boards

XE Login