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| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65739 |
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| 2 | 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) | 22696 |
| 1 | CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. | 23076 |