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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [TC gauge 동작 원리]
[1] | 1153 |
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라디컬의 재결합 방지 [해리 반응상수]
[1] | 1083 |
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CCP RIE 플라즈마 밀도 [Global model, Plasma generation, Ionization collision]
[1] | 873 |
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연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [Plasma information과 monitoring]
[1]  | 844 |
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plasma striation 관련 문의 [Plasma striation]
[1] | 827 |
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4 |
챔버의 Plasma density 확인방법 문의드립니다. [플라즈마 모니터링, OES, LP]
[1] | 692 |
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3 |
CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [HV probe 전압 측정]
[2] | 571 |
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2 |
RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [Lorentz force와 ExB drift 이해]
[1] | 462 |
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1 |
반사파에 의한 micro arc 질문 [VHF 전력 인가]
[2] | 364 |
