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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다.
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안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다.
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CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다.
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ICP reflecot power 관련 질문드립니다.
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Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다.
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공정플라즈마
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안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다!
[1] | 528 |
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Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여
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유도결합 플라즈마 소스 질문!!!?
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[질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요.
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glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압
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플라즈마가 불안정한대요..
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No. of antenna coil turns for ICP
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ICP TORCH의 냉각방법
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4 |
ccp-icp
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3 |
F/S (Faraday Shield)
 | 20312 |
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2 |
플라즈마의 발생과 ICP
| 21078 |
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1 |
ICP 플라즈마에 관해서
[2] | 29146 |
