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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68544
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27 ICP에서 전자의 가속 18
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25 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 993
24 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 805
23 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 693
22 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 2230
21 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1653
20 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 1248
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17 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2415
16 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3543
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14 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 2197
13 공정플라즈마 [1] 1111
12 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1890
11 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1649
10 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1873
9 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 24172
8 glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 21695

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