번호 제목 조회 수
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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73484
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105848
33 ICP 플라즈마에 관해서 [2] 32607
32 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [Sheath model과 bias] [3] 24928
31 플라즈마가 불안정한대요.. [압력과 전력 조절] 24661
30 No. of antenna coil turns for ICP [안테나 turn 수와 플라즈마 발생 효율] 23334
29 플라즈마의 발생과 ICP 22332
28 ccp-icp 21967
27 glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 21932
26 F/S (Faraday Shield) file 21852
25 ICP TORCH의 냉각방법 [냉각수와 와류] 16025
24 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [Plasma source와 loss] [3] 4524
23 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [Step ionization, Dissociative ionization] [1] 3054
22 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [Standing wave effect] [1] 2938
21 안녕하세요. 교수님 ICP 관련하여 문의드립니다. [충돌 단면적 및 반응 계수] [2] 2775
20 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [Self bias 및 ICP E/H mode] [2] 2689
19 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [N2 플라즈마] [1] 2420
18 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [전기장 내 입자 거동] [2] 2133
17 ICP reflecot power [Insulator와 rf leak] [1] 2059
16 ICP lower power 와 RF bias [Self bias, Floating sheath] [1] 2032
15 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [Faraday shield] [1] 1984
14 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [ICP match impedance] [1] 1974

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