안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73076
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17641
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55521
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65728
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86104
26 ICP 플라즈마에 관해서 [2] 31125
25 플라즈마가 불안정한대요.. 24368
24 No. of antenna coil turns for ICP 22848
23 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 22792
22 플라즈마의 발생과 ICP 21779
21 glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 21485
20 F/S (Faraday Shield) file 21052
19 ccp-icp 20893
18 ICP TORCH의 냉각방법 15823
17 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 2669
16 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2169
15 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1871
14 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1684
13 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 1509
12 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1478
11 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1444
10 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [1] 1387
9 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1346
8 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1248
7 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 999

Boards


XE Login