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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[337]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [Standing wave effect]
[1] | 3063 |
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Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [Step ionization, Dissociative ionization]
[1] | 3181 |
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ICP에서 전자의 가속 [Plasma breakdown 이해]
[1] | 3232 |
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CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [Plasma source와 loss]
[3] | 4692 |
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ICP TORCH의 냉각방법 [냉각수와 와류]
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F/S (Faraday Shield)
 | 21962 |
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glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압
| 22005 |
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ccp-icp
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플라즈마의 발생과 ICP
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4 |
No. of antenna coil turns for ICP [안테나 turn 수와 플라즈마 발생 효율]
| 23423 |
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3 |
플라즈마가 불안정한대요.. [압력과 전력 조절]
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2 |
[질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [Sheath model과 bias]
[3] | 25015 |
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ICP 플라즈마에 관해서
[2] | 32841 |
