교수님 안녕하세요. 플라즈마 공부하고 있는 학부생인데 기초가 많이 부족해서 질문드립니다.
1. 공정플라즈마에서 전자 온도가 이온, 중성기체의 온도 보다 매우 높은 이유는 무엇인지 궁금합니다.
2. 플라즈마에 유체방정식이 무엇이고 각 항의 의미가 어떻게 되는 궁금합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [88] | 2754 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 13971 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 49899 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 61841 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] | 80536 |
| 24 | ICP 플라즈마에 관해서 [2] | 30462 |
| 23 | 플라즈마가 불안정한대요.. | 24241 |
| 22 | No. of antenna coil turns for ICP | 22720 |
| 21 | [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] | 22465 |
| 20 | 플라즈마의 발생과 ICP | 21542 |
| 19 | glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 | 21313 |
| 18 |
F/S (Faraday Shield)
 | 20753 |
| 17 | ccp-icp | 20619 |
| 16 | ICP TORCH의 냉각방법 | 15747 |
| 15 | 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] | 1927 |
| 14 | CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] | 1891 |
| 13 | 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] | 1531 |
| 12 | 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] | 1485 |
| 11 | 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] | 1265 |
| 10 | 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] | 1092 |
| 9 | Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] | 989 |
| 8 | ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] | 915 |
| 7 | Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] | 842 |
| » | 공정플라즈마 [1] | 726 |
| 5 | 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] | 683 |