ICP ICP TORCH의 냉각방법

2004.06.21 15:30

관리자 조회 수:15682 추천:261

질문 ::

ICP TORCH에 관하여 문의를 드립니다.
ICP TORCH를 이용 유리와 같은 물질을 가열하는 장치를 연구하고 있는데 TORCH의 구조는 COIL과 QUARTZ관으로 구성되며 QUARTZ관은 내경50mm정도입니다. GAS는 Ar을 사용하고 있는데 문제는 발생된PLASMA가  COIL내에서 발생되므로 QUARTZ관까지 녹는 현상이 발생됩니다. 코일은 3 -4 TURN으로 하였는데 코일밖에서 PLASMA를 발생시킬 수 는 없는지요? 아니면 QUARTZ관이 가열되지 않는 방법이 있는지 알고 싶습니다.

답변 ::

말씀하신 장치에 대해서는 직접 보지 않아 개념적인 답변을 드릴 수 밖에 없을 것 같습니다.
1 . 일단 안테나 coil을 냉각수로 냉각하도록 하십시오.
2.  입력 개스의 흐름을 유리관 벽에서 와류가 생겨 유리관으로 전달되는 열을 가급적 차단하도록
    개스흐름을 조절하십시오.
일반적으로 이상의 방법을 사용하고 있습니다.
도움이 되었기를 바랍니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [54] 1169
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 887
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49370
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59412
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 73942
23 ICP 플라즈마에 관해서 [2] 30103
22 플라즈마가 불안정한대요.. 24173
21 No. of antenna coil turns for ICP 22592
20 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 22357
19 플라즈마의 발생과 ICP 21370
18 glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 21212
17 F/S (Faraday Shield) file 20598
16 ccp-icp 20428
» ICP TORCH의 냉각방법 15682
14 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 1768
13 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 1517
12 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1459
11 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1285
10 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1095
9 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 911
8 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] 771
7 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 756
6 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 746
5 공정플라즈마 [1] 642
4 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 527

Boards


XE Login