ICP ICP TORCH의 냉각방법 [냉각수와 와류]

2004.06.21 15:30

관리자 조회 수:16029 추천:261

질문 ::

ICP TORCH에 관하여 문의를 드립니다.
ICP TORCH를 이용 유리와 같은 물질을 가열하는 장치를 연구하고 있는데 TORCH의 구조는 COIL과 QUARTZ관으로 구성되며 QUARTZ관은 내경50mm정도입니다. GAS는 Ar을 사용하고 있는데 문제는 발생된PLASMA가  COIL내에서 발생되므로 QUARTZ관까지 녹는 현상이 발생됩니다. 코일은 3 -4 TURN으로 하였는데 코일밖에서 PLASMA를 발생시킬 수 는 없는지요? 아니면 QUARTZ관이 가열되지 않는 방법이 있는지 알고 싶습니다.

답변 ::

말씀하신 장치에 대해서는 직접 보지 않아 개념적인 답변을 드릴 수 밖에 없을 것 같습니다.
1 . 일단 안테나 coil을 냉각수로 냉각하도록 하십시오.
2.  입력 개스의 흐름을 유리관 벽에서 와류가 생겨 유리관으로 전달되는 열을 가급적 차단하도록
    개스흐름을 조절하십시오.
일반적으로 이상의 방법을 사용하고 있습니다.
도움이 되었기를 바랍니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103272
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24710
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61515
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73516
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105936
33 ICP 플라즈마에 관해서 [2] 32613
32 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [Sheath model과 bias] [3] 24933
31 플라즈마가 불안정한대요.. [압력과 전력 조절] 24664
30 No. of antenna coil turns for ICP [안테나 turn 수와 플라즈마 발생 효율] 23337
29 플라즈마의 발생과 ICP 22335
28 ccp-icp 21976
27 glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 21933
26 F/S (Faraday Shield) file 21854
» ICP TORCH의 냉각방법 [냉각수와 와류] 16029
24 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [Plasma source와 loss] [3] 4532
23 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [Step ionization, Dissociative ionization] [1] 3058
22 RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계 [Standing wave effect] [1] 2940
21 안녕하세요. 교수님 ICP 관련하여 문의드립니다. [충돌 단면적 및 반응 계수] [2] 2777
20 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [Self bias 및 ICP E/H mode] [2] 2691
19 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [N2 플라즈마] [1] 2425
18 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [전기장 내 입자 거동] [2] 2134
17 ICP reflecot power [Insulator와 rf leak] [1] 2062
16 ICP lower power 와 RF bias [Self bias, Floating sheath] [1] 2041
15 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [Faraday shield] [1] 1987
14 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [ICP match impedance] [1] 1978

Boards


XE Login