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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63756
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38 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 698
37 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 389
36 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 2975
35 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 849
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33 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 929
32 Wafer particle 성분 분석 [1] 1927
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30 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1225
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27 OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] 22950
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25 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2077
24 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 807
23 활성이온 측정 방법 [1] 447
22 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 821
21 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1556
20 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1387
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