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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 58464
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38 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 255
37 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 137
36 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 2663
35 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 631
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33 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 637
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25 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 1420
24 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 446
23 활성이온 측정 방법 [1] 346
22 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 711
21 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1369
20 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1209
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