질문 ::

플라즈마진단법에는 어떤것들이 있나요?
제가 아는건 정전탐침법밖에 없는데.....
정전탐침법뿐아니라 다른 방법들을 가르쳐 주시면 감사하겠습니다.

답변 ::

플라즈마 진단의 종류는 대단히 많이 있습니다.
크게 두가지로 나눈다면 직접 플라즈마와 닿아 얻어지는 자료를 통하여 특성을 분석하는 방법과
플라즈마와 닿지 않으며 얻어지는 자료를 통하여 플라즈마 특성을 분석하는 방법이 있습니다.
전자의 방법으로는 정전 탐침법으로 대표되며 후자의 경우는 광학적인 방법 혹은 마이크로 파등을
이용하는 방법 및 빔을 이용하여 플라즈마와 충돌하면서 나오는 빛을 분석하는 (광학적인 방법의
일환)등이 있습니다. 이에 관해서 설명하기에는 본란으로는 부족할 것 입니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102724
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24675
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61390
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73456
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105792
43 탐침법 28241
42 OES 원리에 대해 궁금합니다! [플라즈마 빛의 파장 정보] [1] 28170
41 [질문] Plasma density 측정 방법 [Plasma property와 sputtering] [1] 22952
40 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련 [Pulse plasma와 trigger-in] [1] 22905
39 플라즈마 측정기 [How Langmuir Probe Works] [1] 21558
38 대기압 플라즈마 진단 [탐침을 통한 대기압 진단의 문제점] 21091
37 플라즈마 진단법에 대하여 [플라즈마 진단과 Spectroscopy] [1] 21001
36 IEDF EQP에 대한 답변 file 20906
35 Langmuir probe tip 재료 20554
34 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [Enthalpy probe] [1] 20495
33 Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. [RF ground와 Cl Plasma] 19804
32 QMA에 관하여 [1] 19664
31 AMS진단에 대하여 궁금합니다 file 19118
» 플라즈마진단법엔 어떤것이? [접촉/비접촉식 진단법] 18834
29 RF compensate probe 18537
28 PSM을 이용한 Radical 측정 방법 [이온화 전자 전류의 증가] file 17238
27 공정검사를 위한 CCD 카메라 사용 16182
26 laser induced plasma의 측정에 관하여 [Ablation plasma와 resolution] 14796
25 RGA에 대해서 10710
24 자료 요청드립니다. [1] 6534

Boards


XE Login