OES OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다.
2023.03.21 10:57
안녕하세요!
플라즈마를 좋아하고 공부하고 있는 디스플레이 엔지니어입니다!
OES를 스펙트럼 분석을 통해서 공정 개선을 해보고 싶습니다.
그이전에, OES를 통해서 공정중 막질 Uniformity를 개선한 사례가 있는지 궁금합니다.
혹시 조언을 얻을 수 있을까요??
감사합니다!!!
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76855 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20262 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57193 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68747 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92610 |
| 43 | ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [1] | 445 |
| » | OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] | 606 |
| 41 | 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] | 733 |
| 40 | OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] | 774 |
| 39 | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] | 613 |
| 38 | OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] | 1393 |
| 37 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 713 |
| 36 | Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] | 3329 |
| 35 | [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] | 1379 |
| 34 | EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] | 1665 |
| 33 | Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] | 1354 |
| 32 | Wafer particle 성분 분석 [1] | 2326 |
| 31 | charge effect에 대해 [2] | 1470 |
| 30 | Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] | 1456 |
| 29 |
고전압 방전 전기장 내 측정
[1]  | 1069 |
| 28 | I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 1324 |
| 27 | OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] | 26179 |
| 26 |
langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다.
[1] | 1019 |
| 25 | VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] | 2885 |
| 24 | 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] | 1321 |
- 다음 순서로 생각을 정리해 가면 좋을 것 같습니다.
- 광진단의 원리 , 특히 OES 로 진단하는 대상과 진단계의 동작 특성 (구성 요소 포함 및 설치 등의 환경)을 고려해 보세요.
- 광진단은 공정징비 외부에 설치되어 있으니 수집된 신호를 공간 분포로 환산하는 이론을 통해서 공간 분포 정보를 도출 할 수 있을 것입니다. 중요한 것은 빛을 내는 광원의 분포와 결합되는 문제이니, 분포 예상은 복잡한 비선형 문제를 풀어야 할 것입니다.
- 따라서 제가 아는 한 플라즈마의 분포를 에측하기 위한 다양한 방법들이 제안되고 있고, 가장 기초적인 방법으로는 Abel inversion 방법 및 이 기반의 광원 분포 해석이 진행되고 있습니다.
- 하지만 공정 플라즈마에서 진단 대상의 미새한 변화를 관찰하기에는 현재 방법들은 한계를 가지고 있고, 개선의 여지가 많습니다. 이유는 대상 공정에서 요구하는 진단의 정밀성 (정확한 데이터를 의미하는 것이 아니라 모니터링 값의 변동 정보를 취득 가능성 제고능력)의 개량이 지속적으로 요구되기 떄문입니다 이제 수십 나노 미터 값의 산포를 관찰해야 하는시대이기 떄문이지요
일단 광진단의 원리를 잘 이해하셔야 활용 범위를 판단할 수 있고 ChatGPT를 잘 활용해서, 플라즈마를 더 좋아하시게 될 것으로 기대합니다. 아울러 공정진단의 개념을 잘 정립하시면 좋습니다. 막연한 기대는 공정진단 기술의 활용을 크게 방해하니 조심하시고요.